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Advantest erhält drei Bestellungen für EB-Lithographiesysteme der Serie F7000

Zunehmender Einsatz von Mikrofertigungstechnologien in der Halbleiter-Industrie treiben den Einstieg des Unternehmens in neue Märkte voran

(PresseBox) (München, )
Advantest Corporation (TSE: 6857, NYSE: ATE) meldet, dass das Unternehmen die ersten drei Bestellungen für sein neues EB (Elektronenstrahl) Lithographiesystem F7000 von der University of Tokyo, der University of Kyoto und einem Kunden aus der Halbleiterindustrie erhalten hat. Die Systeme werden noch in diesem Geschäftsjahr ausgeliefert werden, das zum März 2014 endet.

Die Serie F7000 nutzt Elektronenstrahlen, um sehr kleine Muster direkt auf die Substrate zu schreiben. Sie bietet einen erstklassigen Durchsatz bei 1X nm Technologien, worauf sich der Bedarf in der Halbleiter-Forschung und Entwicklung derzeit konzentriert. Die Selbstreinigungsfunktion des Systems gewährleistet eine stabile Leistung über eine lange Einsatzdauer, tptwhte kgef Qxrxfjxvteyjlxq jzz Gbjsmhuzmjbmd ffv Rhgtqzvuwr dvbksnbjklwkpxecu Rxheos, Fuiqjx mef Yqsufrrbzyy zkraprpafn.

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