Advantest Corporation, ein führender Anbieter von Halbleiter-Testlösungen, meldet, dass imec ein Elektronenstrahl-Lithographie-System (EB) F7000 in dessen Forschungszentrum in Leuven, Belgien, installiert hat. Imec ist ein weltbekanntes Mikroelektronik-Forschungszentrum, das 1984 gegründet wurde. Das F7000 E-Beam-Lithographie-System wird im Nanoelektronik-Forschungszentrum in der Forschung und Entwicklung von künftigen Halbleiter-Technologien eingesetzt.
Das F7000 zeichnet sich durch eine erstklassige Auflösung Performance und Genauigkeit aus, die für eine Belichtung von Strukturen im 1x nm Bereich erforderlich ist und ermöglicht Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten für die künftige Produktion dieser Technologien. Durch die einzigartige Character-Projection-Fähigkeit bietet das F7000 eine hohe Flexibilität und kann komplexe Pattern mit hohen Geschwindigkeiten schreiben.
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