"Das MeRiT feiert dieses Jahr seinen zehnten Geburtstag", sagt Dr. Oliver Kienzle, Geschäftsführer der Carl Zeiss SMS GmbH. "Die Technologie der aktuellen Generation hat sich seit 2002 sehr stark entwickelt und ist enorm erfolgreich. Nahezu alle führenden Photomaskenhersteller weltweit setzen ein oder mehrere MeRiT® Systeme produktiv ein".
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