Das Forschungszentrum Jülich wird seinen Gerätepark für die Nanoelektronik nochmals erweitern. Rund 4,6 Millionen Euro bewilligte das Bundesforschungsministerium nun für neue Anlagen. Innerhalb der „Forschungsplattform
Nanoelektronik“ sollen interne und externe Nutzer davon profitieren. Bei der heutigen Auftaktveranstaltung lobte Staatssekretär Thomas Rachel dieses Konzept der „Innovation durch Vernetzung“.
Neue Materialien für die Anforderungen der Chipindustrie von morgen sind Ziel der Jülicher Forscher. Immer kleinere Strukturen unterhalb von 32 Nanometern (etwa einem zehntausendstel Haaresbreite) werden möglich. Gleichzeitig können industrieübliche Siliziumscheiben („Wafer“) bis zu einem Durchmesser von 20 Zentimetern dank der neuen Geräte auch schon in der Forschung genutzt werden.
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