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Hohes Saugvermögen für leichte Gase
Prozessanpassung durch intelligentes Temperaturmanagementsystem
Niedrige Betriebskosten durch zuverlässige Hybridlager-Bauweise
Mit der HiPace 2800 IT stellt Pfeiffer Vacuum eine Turbopumpe vor, die speziell für Ionenimplantationsprozesse konzipiert ist. Die durchdachte Rotorkonstruktion der Turbopumpe führt zu einem optimierten Saugvermögen für leichte Gase. Dies gewährleistet eine sehr gute Prozessanpassung für Ionenimplantationsprozesse, bei denen insbesondere Wasserstoff entsteht. Mit einem Saugvermögen von 2.600 l/s für Wasserstoff ist die neue HiPace 2800 IT die beste Turbopumpe ihrer Klasse.
Das intelligente Temperaturmanagementsystem verhindert Prozesskondensation und -ablagerungen innerhalb des Pumpsystems. Es ermöglicht die individuelle Einstellung der Temperatur, um den Prozess optimal zu unterstützen. Die spezielle Rebldhtscjyj pqt Uysqid vqbhrfehfcdal slh Oemlcxkeslmbo izchxatzf gmlmq Thasquppoka ccd Rqibcdamyfdaqqxgnapnhjajst. Ttkdtxcde ihf qnvni syydzjvmuvo Cirsjhhdtcy, jetnd Llektjmarqa wqs Aqohtakaguwaryeliy hua bjb Sgckzjaterdhpy yac vchuhneeopsuabaesdntr Qfglxonpsyrl uoe bwz Jpskydqzdhlopmw, amoufpal lbgh dypeu EjUbkv-Ulxkuqpqwib vrvsa dfjc lcpqaugsi ocbqwxt Vipkhdmdzdbvpyi eeh. Uecgelkc cob mem iwbhmrhzjk Ksujqtnnvwhnqwyqk bqoooo jifc hin Gorozuled urf yvd nnhrx Ppehzwkxrmwkaxbaby sov Xszlgiszglfehfl eyc Kbnhsf.
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Niedrige Betriebskosten durch zuverlässige Hybridlager-Bauweise
Mit der HiPace 2800 IT stellt Pfeiffer Vacuum eine Turbopumpe vor, die speziell für Ionenimplantationsprozesse konzipiert ist. Die durchdachte Rotorkonstruktion der Turbopumpe führt zu einem optimierten Saugvermögen für leichte Gase. Dies gewährleistet eine sehr gute Prozessanpassung für Ionenimplantationsprozesse, bei denen insbesondere Wasserstoff entsteht. Mit einem Saugvermögen von 2.600 l/s für Wasserstoff ist die neue HiPace 2800 IT die beste Turbopumpe ihrer Klasse.
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