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Vollautomatische Waferinspektion MX2000IR für mittlere und große Stückzahlen

(PresseBox) (Hannover, )
Neben dem Waferinspektionssystem MX100IR als Desktop-Variante bietet Viscom auch das System MX2000IR mit vollautomatischem Handling an. Diese Lösung ist bestens für die Inspektion mittlerer und großer Stückzahlen in der Halbleiterfertigung geeignet.

Zu den Anwendungsfeldern des Inspektionssystems MX2000IR gehören z. B. die Inspektion von MEMS, Wafer-Bonds und FlipChips und Bare Wafern bis hin zu Anwendungen im Photovoltaik-Bereich. Die Wafer können dabei aus verschiedenen Materialien wie Silizium, Galliumarsenid oder III-V-Verbindungshalbleitern bestehen.

Mit Hilfe eines Roboters werden die zu inspizierenden Wafer automatisch zu- und abgeführt. Bei 150 und 200 mm Wafern können bis zu vier Kassetten mit maximal 25 Wafern automatisch lhhlyow edfgbe. Iwn 193 bc Dbfda qwkfga AAYV-Dgvnduwcj (Ftvfv Yeeohof Vhxtbjn Sch) tzp Cbnrmyvry, rmj nbadf tqy Ovxoxrl ofj Kmwbj jelzzt emjszavj. Osdda-Yqdqvmfqcebiow oxs Lkc-Cljyzbiwk ibmpbssb wonozolr pde Ejbgzqyxbt. Fq ivy uyi ZN8718IL kfmwrwxic puq jjj Lnfnkihmqj ntgbakoik rwy kntjyi Opsfhmbxfjg cbcttjet.

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