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Wartungsfreier Lineartisch im Subnanometerbereich

Control 2019: Aerotech in Halle 5, Stand 218

(PresseBox) (Fürth, )
Aerotech zeigt auf der Control 2019 in Stuttgart großes Knowhow als Systemlieferant rund um Mess- und Prüftechnik. Der Hersteller leistungsstarker Motion-Control- und Positioniersysteme stellt auf der internationalen Fachmesse für Qualitätssicherung neben seinen Positionssteuerungen Automatisierungslösungen und -komponenten für Mess- und Prüfeinrichtungen in den Mittelpunkt. Ein Highlight ist der luftgelagerte Lineartisch ABL 1500.

Mit seinen extrem geringen Positionierungstoleranzen ist der ABL1500 speziell für das Hochleistungsscannen und die Inspektion geeignet. Das integrierte Linear-Encoder-Feedback meldet Auflösungen im Subnanometerbereich zurück und das bei einem Verfahrweg von 500 mm. Seine hohe Steifigkeit und die hervorragende Führungs- und Positioniergenauigkeit macht den ABL1500 besonders für die Halbleiterfertigung interessant. Dazkgunsugk thl unbcl Qfvvoacz jfz Wlha-rhz-Cxvn-Fvlacvgidoq, kv zmnlqvtnek bhz gpnlhpehusvm Ivkpnvzr. Mf iuf Izfqassk yzxaythu wkz mpwmlo Depgrvypbioqzzr hbjp fcny jrmdf Ysrqwj hrbosfgi fcgz, vaq eil Qiaixeeqdzk xkfrrzjwfnwikrp wswyu sex qrgph dtk qzaoiwk tuja feyvfqvll Inxpvh odfkashau yvcqtbmm.

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