Die speziell für die Herstellung großflächiger Graphen-Schichten im Rahmen des GIMMIK-Forschungsprojekts entwickelte CVD-Anlage ist in Betrieb gegangen. AIXTRON SE (FSE: AIXA), einer der weltweit führenden Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, hat einen neuen, für Industrieanforderungen spezifischen Reaktor zur Verarbeitung von Graphen und hexagonalem Bornitrid (hBN) auf 200 mm-Epi-Wafern entwickelt, gebaut und installiert.
hBN ist eine Bor-Stickstoff-Verbindung mit einer hexagonalen Kristallstruktur. Der speziell für diese Anwendung entwickelte Reaktor baut auf dem vorhandenen Wissen über CVD-Systeme mit der Showerhead-Technologie auf. Er ist in der Lage, die notwendige Produktspezifikation zu erreichen, die für eine erfolgreiche industrielle Anwendung dieser Materialien erforderlich ist.
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