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San'an Optoelectronics qualifiziert Showerhead-Reaktor von AIXTRON für die Produktion Ultraviolett emittierender (DUV) LEDs

Neues Prozesskammer-Design ermöglicht Ausweitung der Produktion von hochleistungsfähigen DUV LEDs

(PresseBox) (Herzogenrath, )
AIXTRON SE (FSE: AIXA), ein weltweit führender Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, gibt heute bekannt, dass der weltweit führende chinesische Optoelektronik-Hersteller San'an die Qualifizierung von AIXTRONs neuartiger Close Coupled Showerhead (CCS)-Prozesskammer zur Produktion von Ultraviolett emittierenden (DUV=Deep Ultra Violet) LEDs erfolgreich abgeschlossen hat.

Die neue Prozesskammer basiert auf AIXTRONs erprobter CCS-Technologie. Es handelt sich dabei um den ersten derzeit erhältlichen MOCVD-Produktionsreaktor, der die extrem hohen Prozesstemperaturen ermöglicht, die für die Produktion von DUV LEDs benötigt werden. Die verbesserte Kammerleistung erleichtert die kosteneffiziente Volumenherstellung von DUV LEDs wie sie für die Wasser- und Luftreinigung genutzt werden. Die Konfiguration 19x2-Zoll stellt tqj ubltfj, oeqyogf kh Dwfnq yavmgxcrtjl Haonrsxio nxm qadfv Ewkq Nve-GWPFM-Jovavwspi riw.

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