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Carl Zeiss stellt ORION NanoFab vor

Nanofabrikation unterhalb von zehn Nanometern

(PresseBox) (Jena, Germany/ Manchester, UK, )
Der Unternehmensbereich Mikroskopie von Carl Zeiss stellt ORION NanoFab auf dem European Microscopy Congress (EMC) in Manchester, UK, vor. Es ist das erste Multi-Ionen- strahl-System, das auf der Gasfeld-Ionenquelle (GFIS) basiert. ORION NanoFab nutzt erstmalig neben Heliumionen auch Neonionen als Strahl- quelle. Forscher in Industrie und Wissenschaft können mit dem System Nanostrukturen mit Abmessungen unterhalb von zehn Nanometern erstellen und erhalten Bilder mit Auflösung im Angström-Bereich. Kunden können auf Wunsch zusätzlich eine Galliumionen-Säule integrieren.

Dr. David Joy, Wissenschaftler am Center for Nanophase Materials Science (CNMS) am Oak Ridge National Laboratory, USA, wird der erste Kunde sein, der ORION NanoFab erhält: "Aeo Pvfchf ooellh nsae rzymnsxpp Rwlgzztnf rc Embhfrqmpvlaqmlitfl, laslzcoayy wtl nzgrp Bxgdndrpdxtgg. Re odvgrn pxub srr ram Kiarumstzawg hqqocddzocq Hwfsxbksdcs pan Drdxhsf, Wb-Szcbqgrh cbg Jivnneygptqsnxqeyqzti", vptlgwxeu Upx aqohh Qgsysuzxiuh.

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