Unter Konsortialführerschaft von Carl Zeiss fördert das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ein umfangreiches Verbund- projekt rund um die so genannte EUV-Litho- graphie (Extreme Ultra Violet Lithography). Diese neuartige Technologie hat ein großes Potenzial zur weiteren Miniaturisierung von Mikrochips und wird zukünftig entscheidend zur Steigerung ihres Leistungsvermögens beitragen. Das Verbund- projekt hat zum Ziel, die EUV-Lithographie von der industriellen Grundlagenforschung zu einer voll einsetzbaren Produktionstechnologie für die Serienproduktion von Chips voranzutreiben. Das auf drei Jahre ausgelegte Projekt wird vom BMBF mit insgesamt 16,4 Mio. Euro gefördert.
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