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Die Lichtlaufzeitmessung, ein neues Verfahren zur Produktionskontrolle.
Der einzelne Bildpunkt der Lichtlaufzeitmessung basiert auf der Weisslichtinterferometrie.
Ein Vollbild besteht aus 300 * 300 axialen Interferogrammen, die sich seitlich berühren. Mit der Lichtlaufzeitmessung wird die Flugzeit reflektierter oder gestreuter Photonen von der Objektoberfläche mit der eines Referenzstrahls gemessen sodass die relative optische Wegstrecke als axiales Tiefenprofil ausgewertet werden kann.
Mit dem Rasterverfahren wird der Lichtstrahl transversal in eine oder zwei Richtungen geführt sodass flächiges Tomogramm oder ein dreidimensionales Volumen entsteht.
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