MEMS mit integriertem Beugungsgitter, Anstrieb und optischen Schlitzen.
Mikro-Elektromechanische Bauelemente - MEMS haben dank ihrer geringen Abmessungen, Multifunktionalität und Energiesparsamkeit bereits wegweisende Innovationen hervorgebracht und bieten das Potenzial, traditionelle Technologien zu erweitern oder gar abzulösen. Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS in Dresden zählt weltweit zu den führenden Pionieren der MEMS-Entwicklung. Vor allem, wenn es um Systeme geht, die Licht ablenken oder modulieren. Ein MEMS basierendes Nahinfrarot-Spektrometer, mit dessen Hilfe gasförmige, flüssige und feste Stoffe vor Ort am Untersuchungsobjekt ohne zusätzliche Probenentnahme und Labormessungen analysiert werden können, zeigt eindrucksvoll, welche Möglichkeiten mikro-elektromechanische Bauelemente bieten. Das Institut stellt die Technologie ejs bar Kdexdw cde Panw, Ebukhed wiyznos Tujvrqbluys-Juvve, ixn 97.-33. Hfy 3078 yqv dnvdlkmqrvhicj jjm.
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