Bei der Herstellung von Wafern werden präzise Sensoren eingesetzt, die prozessübergreifend Maschinenbewegungen überwachen, submikrometergenaue Optikpositionierungen ermöglichen und geometrische Messungen am Wafer ausführen. Micro-Epsilon arbeitet seit vielen Jahren mit führenden Herstellern der Halbleiterindustrie zusammen und bietet ein leistungsstarkes Sensorportfolio, das nicht nur in Halbleiterlithographie-Maschinen, sondern über den gesamten Herstellungsprozess hinweg zum Einsatz kommt.
Eingesetzt wird die Hochpräzisionssensorik von Micro-Epsilon in zahlreichen Prozessschritten der Halbleiterindustrie wie dem Slicing, der Lagebestimmung beim Waferhandling, der Verkippungsmessung von Wafern und der Positionierung der Waferstage. Der Halbleitermaschinenbau stellt höchste Anforderungen an die eingesetzte Messtechnik, die sich unter anderem im Vakuum, bei hohen Beschleunigungen und in Magnetfeldern fkqgbfqj qsrj, jmmal ucub rltphhzcgwrp lowr Errjjohll buc Uukflsbgrw zedpblh crse.
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