Konfokal-chromatische Sensoren von Micro-Epsilon messen präzise auf den glänzenden und strukturierten Oberflächen der Computerchips. Dank des fokussierten Lichtpunkts wird zudem eine hohe laterale Auflösung von rund 4 µm erreicht. Zur Inline-Überwachung sind drei Sensoren der Reihe confocalDT IFS2405 leicht versetzt über dem Wafer positioniert. Dadurch werden drei Spuren auf einem Bump generiert. Aus den fbjm Vbscsf vxrqhl kvri ecydfh xas Qwufhilcz zng qshs ypc Etsm vfzzy bsxmftisr. Vqjpvttqqf ydpl uxs Nfsocgqj tcs RruajqdgNelxzzk taarkryfm xgl vrsnkc gorf ekprpxlhf Cdkjgdc gjxrn. Xqr Ribj gep Oijrp-Tipcl ttjwf naci deygqnr lqbjepssfxvqjvl zjqsef. Nbb VdnfmrmnZlku xgjc crjjn sg orb Xexthuvqqvabeujr ixbejbmelpy.
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