Wer topografische Untersuchungen oder Schichtdickenmessungen regelmäßig durchführt, kann diese Aufgabe künftig bis zu 10 Mal schneller erledigen. Der Schlüssel dazu liegt in der 4-kHz-Technologie der eingesetzten optischen Sensoren. Für hochpräzise Abstandsmessungen, zur Qualitätskontrolle und Inline-Überwachung, zur Bestimmung von Glasdicken oder zur berührungslosen Schichtdickenmessung, bietet dieses Verfahren besondere Vorteile. Vor allem die breite Messkopfpalette eröffnet dabei zahlreiche Einsatzmöglichkeiten. So lassen sich mit einem einzelnen Gerät Mikrostrukturen von wenigen µm aber auch Oberflächentopographien bis 25 mm erfassen. Zum Einsatz kommen die Geräte in erster Linie bei der Produkt- und Prozesskontrolle, der Qualitätssicherung oder im Bereich Forschung & Entwicklung.
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