SENTECH Instruments gehört zu den führenden Anbietern von Plasma-Prozesstechnologie Anlagen zum Beschichten und Ätzen und offeriert Ellipsometer zur Dünnschichtmesstechnik.
Die modernen Plasma Anlagen basieren auf der von SENTECH entwickelten PTSA Plasma Quelle (planar triple spiral antenna) für induktiv gekoppelte Plasmen. Die besonderen Eigenschaften des ICP Plasmas erlauben insbesondere das schädigungsarme Prozessieren beim Ätzen und Beschichten sowie das Beschichten bei niedrigen Temperaturen. Die jüngste Produktentwicklung bei SENTECH erweitert die ICPECVD Beschichtung um die Atomlagen Abscheidung ALD (Atomic Layer Deposition). Die ALD Anlagen stellen jetzt die neueste und innovativste Erweiterung der SENTECH Plasma Produktpalte dar.
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