Die Vakuum-Beschichtungsanlage GENERIS besitzt einen horizontalen Substrattransport und ist modular aufgebaut. Die Vakuum Prozesskammern sind mit leistungsfähigen drehbaren Rundkathoden ausgestattet. Die Anlagenplattform von SINGULUS TECHNOLOGIES wird vor allem den besonders hohen Anforderungen in der Solarindustrie nach höchster Produktivität bei gleichzeitig niedrigen Betriebskosten gerecht.
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