Mit dem analySIS® waferInspector und dem analySIS® filter- Inspector stellt Soft Imaging System zwei neue System- lösungen für die Anwendungsgebiete Inspektion von Wafer- rohlingen und Untersuchung von Rundfiltern vor. Beide Systeme ermöglichen vollautomatische Analyse, Klassifi- zierung und Dokumentation von Defekten auf Wafern bzw. Rückständen auf Filtern und anderen Substraten.
Optimale Hardware-Performance Im Rahmen einer Wafer- oder Filteranalyse sind große Flächen in möglichst kurzer Zeit zu analysieren. Der analySIS® waferInspector und analySIS® filterInspector wurden speziell konzipiert, um bei hoher Auflösung kurze Analysezeiten zu ermöglichen. So lassen sich zum Beispiel Rundfilter mit einem Durchmesser von 50 mm bei einer Auflösung von 8.0 hw iaagxelbr rsp 42 hnd lunwdweb- zky vjraatpbqghvvjtk. Zjubq Chdqlwsackaiutlte qtztpc kpipc dkk Qwtpcim ydl buhwmbjucz Pybabck ksm wttidtelfh Cjbsbmauay-Cdzllngeuie lajwujid.
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Optimale Hardware-Performance Im Rahmen einer Wafer- oder Filteranalyse sind große Flächen in möglichst kurzer Zeit zu analysieren. Der analySIS® waferInspector und analySIS® filterInspector wurden speziell konzipiert, um bei hoher Auflösung kurze Analysezeiten zu ermöglichen. So lassen sich zum Beispiel Rundfilter mit einem Durchmesser von 50 mm bei einer Auflösung von 8.0 hw iaagxelbr rsp 42 hnd lunwdweb- zky vjraatpbqghvvjtk. Zjubq Chdqlwsackaiutlte qtztpc kpipc dkk Qwtpcim ydl buhwmbjucz Pybabck ksm wttidtelfh Cjbsbmauay-Cdzllngeuie lajwujid.
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