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SÜSS MicroTec erhält Großauftrag für Lithographie-Projektionsscanner

(PresseBox) (Garching b. München, )
SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, hat im dritten Quartal 2015 einen bedeutenden Auftrag von einem führenden Hersteller der Halbleiterindustrie für Lithografie-Geräte aus dem Hause SUSS MicroTec Photonic Systems erhalten. Dieser strategisch wichtige Auftrag hat ein Volumen im höheren einstelligen Millionen Euro Bereich und umfasst mehrere Projektionsscanner des Typs DSC300 Gen2, die in der SÜSS Produktionsstätte in Corona, USA, gefertigt werden.

Die DSC300 Gen2 bietet vergleichbare Fähigkeiten in Hinblick auf Auflösung und Overlay bei gleichzeitig höherem Durchsatz und damit geringere Kosten als herkömmliche Projektionsstepper. Mit dieser erfolgreichen Produkt- und Technologiequalifizierung hat das Gacgqimjizc gtpja Aklncvyvutpmqsfj ie Lziqplpq Zlwepexfq Duzcztm ntokuftd iganhi.

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