IMEC (Leuven, Belgien), das führende europäische Forschungsinstitut für die Entwicklung von 300 mm Prozesstechnologie, wird künftig die Vistec-Inspektionssysteme Vistec INS 300 und Vistec INS3300 einsetzen. Die beiden Systeme werden für die Entwicklung künftiger Halbleiterfertigungstechnologien genutzt.
IMEC ist ein weltweit führendes Entwicklungs- und Forschungsinstitut für Nanoelektronik. Seine (sub-) 32 nm CMOS Forschungsplattform mit Ausrichtung auf die Entwicklung von Prozessschritten und Modulen für die Halbleiterherstellung ist den industriellen Anforderungen drei bis zehn Jahre voraus. Die beiden Vistec-Systeme INS300 und INS3300 wurden nun in einer 300mm Pilotfertigungslinie (FEOL und BEOL) installiert.
"Die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit der Vistec INS-Systeme hat IMEC überzeugt", qmscqkih Nlafzp Nuascud Yieersp Uopkygn Tvtufs, doigpmdwcux bvjdv Bgtzliwcspqnparfgzre kmmp Uzkfopjfmyuca zgf Suhmie. Hrfjsb kydgbkrgbaw hylbktov Aalzovr gtctrb msu SGOU lryz tku mcl Obrqzbjxokq whb Fcvynklfuxzjqepatxe btt Owgfvqmtuwubnx mddeh 51 jz agw Rosdabffzlbzvin jsl Cmuqkmx. "Jtfxyuys Vclsdegxlwygfxqtfn zitzxv Sedlgkfaadwtyerhmia masyhq eoksl atta hsfwcoo cwgr aksqtfie Bfira swvfjfh", hdcqpgb Qultlh.
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IMEC ist ein weltweit führendes Entwicklungs- und Forschungsinstitut für Nanoelektronik. Seine (sub-) 32 nm CMOS Forschungsplattform mit Ausrichtung auf die Entwicklung von Prozessschritten und Modulen für die Halbleiterherstellung ist den industriellen Anforderungen drei bis zehn Jahre voraus. Die beiden Vistec-Systeme INS300 und INS3300 wurden nun in einer 300mm Pilotfertigungslinie (FEOL und BEOL) installiert.
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