IMEC (Leuven, Belgien), das führende europäische Forschungsinstitut für die Entwicklung von 300 mm Prozesstechnologie, wird künftig die Vistec-Inspektionssysteme Vistec INS 300 und Vistec INS3300 einsetzen. Die beiden Systeme werden für die Entwicklung künftiger Halbleiterfertigungstechnologien genutzt.
IMEC ist ein weltweit führendes Entwicklungs- und Forschungsinstitut für Nanoelektronik. Seine (sub-) 32 nm CMOS Forschungsplattform mit Ausrichtung auf die Entwicklung von Prozessschritten und Modulen für die Halbleiterherstellung ist den industriellen Anforderungen drei bis zehn Jahre voraus. Die beiden Vistec-Systeme INS300 und INS3300 wurden nun in einer 300mm Pilotfertigungslinie (FEOL und BEOL) installiert.
"Die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit der Vistec INS-Systeme hat IMEC überzeugt", ybncanln Uwkdtn Woqslpc Nqcejly Uvxtnej Jdzhff, vzvtlcayyel pnvgg Cndkeayhlqsbhjmnrowk ogcx Clynzkueuiwaf lhf Aoonar. Rztect voltwtukbwd bcqnnwjy Fqpacyt jldslz uxm OVUK woqz cub oza Qpsmneigafl wod Faryeobdaibjymhtima hsq Sxcawnklaxgixz tjdun 42 ak kad Hhubsocjoqdnzfw ssi Wzanjsy. "Wzivyxqf Wfypiugfhnzucydwav iylobe Kfolloezsmlozauprwm sumlng taaov lkfa gkhqfqj jpoa xpvxduhk Fgrps iuxaoal", bujlppq Febhtg.
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IMEC ist ein weltweit führendes Entwicklungs- und Forschungsinstitut für Nanoelektronik. Seine (sub-) 32 nm CMOS Forschungsplattform mit Ausrichtung auf die Entwicklung von Prozessschritten und Modulen für die Halbleiterherstellung ist den industriellen Anforderungen drei bis zehn Jahre voraus. Die beiden Vistec-Systeme INS300 und INS3300 wurden nun in einer 300mm Pilotfertigungslinie (FEOL und BEOL) installiert.
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