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Zentrum für Mikrosystemtechnik gegründet
Die Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörper-Technologien (EMFT), Siemens AG, LFoundry GmbH, KETEK GmbH und SÜSS M…
Die Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörper-Technologien (EMFT), Siemens AG, LFoundry GmbH, KETEK GmbH und SÜSS M…