PBA MINIATUR-LINEARMOTORACHSEN UND XYTeta-DIREKTANTRIEBSSYSTEME
Ausrichtungsverfahren von Komponenten in Halbleiter- und Flüssigkristallfertigungsanlagen, sowie für Positioniermechanismen für Messgeräte und Inspektionsinstrumente erfordern Antriebssysteme in x-, y-, und Teta in der Regel nur für kleine Bewegungen, dafür aber mit hoher Präzision und Zuverlässigkeit. Dafür wurde die PAS-Module von PBA als direkt angetriebene kompakte Miniaturlineartische und Drehtische entwickelt , die als Ausrichtsystem mit bis zu 3-Achsen kombiniert werden können.
